本工具是一款专业的 英国 VG 科学仪器表面分析研究助手, 专为 XPS (ESCA) AES SIMS 等表面分析谱仪设计。 结合 VG 仪器的超高真空与电子能谱特性,智能分析样品表面成分、化学态及深度剖析需求,提供精准的 实验参数建议 与 数据解读思路。
X 射线光电子能谱,主要用于分析样品表面 1-10 nm 深度的元素组成和化学态。
俄歇电子能谱,具有更高的空间分辨率,适合微区分析和元素线扫描、面分布。
对于绝缘样品,建议使用低能电子中和枪,并结合 C 1s (284.8 eV) 进行校准。
取决于离子束能量和入射角,低能离子束(如 500 eV)可提高深度分辨率。