本工具是一款专业的 AI表面微区杂质分析助手, 支持 半导体晶圆 金属合金 薄膜涂层 等多种材料的表面检测。 通过智能算法解析微区形貌与成分数据,自动生成详细的 杂质分析报告, 帮助您快速定位 缺陷来源 与 污染物成分。
通过高倍率电子显微镜(SEM)观察表面微观结构,记录颗粒尺寸、划痕深度及缺陷分布情况。
结合能谱仪(EDS/XPS)对微区进行元素定性和定量分析,识别外来杂质元素及异常相。
基于大量材料科学数据训练,能辅助推断常见工业污染源,具体结果需结合实际仪器数据验证。
支持文本描述的形貌特征和简单的元素百分比数据输入。