本工具是一款专业的 AI溅射离子泵启动助手, 专为 超高真空系统 表面分析仪器 镀膜设备 设计。 针对 带冷阱的油封机械泵 前级系统,智能生成符合真空物理规范的 离子泵启动操作流程, 确保系统安全,防止油污染,显著提升您的 实验效率。
启动离子泵前,必须确保前级真空度达到 10^-2 Pa 或更低,以避免高压放电损坏泵体。
冷阱(通常填充液氮)用于捕获油封机械泵返流的油蒸气,防止其污染离子泵的高真空腔体。
可能是真空度不够或泵体漏气,应立即切断高压,检查前级系统。
通常在机械泵启动并达到一定真空度后,离子泵启动前加入液氮。