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干涉光学测量基于光的干涉现象,通过分析干涉条纹的形状和分布来获取物体的几何参数、位移等信息。
干涉光学测量系统通常包括光源、干涉仪、成像系统和数据处理单元等核心部分,需要根据测量需求进行优化设计。
干涉光学测量的精度通常可以达到纳米级甚至亚纳米级,具体取决于测量系统的设计和环境条件。
干涉光学测量广泛应用于精密加工、半导体制造、生物医学等领域,用于测量表面粗糙度、形状、位移等参数。