本工具是一款专业的 空心阴极锡激光器参数分析工具, 专为 EUV光刻 激光等离子体 放电物理 研究设计。 通过智能算法模拟 空心阴极放电环境 与 锡滴动力学, 自动生成符合物理规范的 结构优化方案, 显著提升您的 光源转换效率。
利用空心阴极效应产生高密度等离子体,通过锡靶材的激光烧蚀产生极紫外辐射。
需精确控制放电电压、电流密度、缓冲气体成分及锡滴供给频率以优化 13.5nm 辐射输出。
适用于EUV光刻机光源研发、激光等离子体物理实验及高功率放电装置设计。
基于物理模型与经验公式估算,实际结果需结合实验环境进行微调验证。