电子束泵浦准分子激光器能量沉积计算

本工具是一款专业的 电子束泵浦准分子激光器能量沉积仿真工具, 专为激光物理研究人员和工程师设计。支持 KrF (248nm) XeCl (308nm) ArF (193nm) 等多种主流准分子介质的能量沉积模拟。 基于蒙特卡洛方法与 Boltzmann 方程,快速计算电子束在气体介质中的 能量损失分布泵浦效率,助您优化激光器设计。

仿真配置
1 积分
KrF (248nm)
XeCl (308nm)
ArF (193nm)
XeF (351nm)
仿真结果
电子束泵浦准分子激光器能量沉积计算
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能量沉积原理

电子束输运

高能电子束进入激光腔体后,与气体介质分子发生弹性与非弹性碰撞,导致动能逐步损失并转化为气体分子的内能。

泵浦效率

能量沉积的深度分布直接决定了激发态粒子数的空间分布,进而影响激光增益体积和最终的提取效率。

常见问题

参数如何影响结果?

电子能量越高,穿透深度越大;气体压力越高,能量沉积在表面越集中,Range越短。

支持哪些混合气体?

支持常见的卤素供体(如F2, Cl2)与缓冲气体(如He, Ne, Ar)的任意比例混合计算。

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