XeCl准分子激光器设计分析

电晕预电离通过表面放电产生初始电子，能有效改善主放电的均匀性，抑制弧光放电，提高激光输出稳定性。

采用同轴或折叠腔体设计，结合陶瓷介质电容，可在有限体积内实现高储能密度，满足便携式设备需求。