Al-Si合金膜电迁移激活能分析工具

电迁移激活能是描述金属原子在电场作用下迁移过程中克服势垒所需能量的物理量，是衡量电子材料可靠性的重要指标。

电阻法通过测量不同温度下Al-Si合金膜的失效时间，利用Arrhenius方程计算电迁移激活能值。