电子探针分析加速电压选择助手

本工具是一款专业的 电子探针分析加速电压选择助手, 专为 地质样品 金属材料 半导体 等微观分析设计。 基于物理原理(如过压比、相互作用体积)智能计算,推荐最佳加速电压,平衡 空间分辨率X射线强度

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加速电压选择原理

过压比 (Overvoltage)

通常要求加速电压 (E0) 大于元素临界激发能 (Ec) 的 2 倍 (U > 2),以保证足够的X射线产额。

空间分辨率

较低的加速电压可以减小电子束的相互作用体积,从而提高空间分辨率,适合薄膜或细微结构分析。

常见问题

如何选择电压?

综合考虑待测元素的激发能和样品的导电性,通常建议在 10kV - 20kV 之间调整。

电压越高越好吗?

不是。高电压会增加穿透深度,降低表面分析的空间分辨率,并可能增加吸收效应。

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