本工具是一款专业的 35.5毫微米相干辐射产生 辅助设计系统, 支持 高次谐波产生(HHG) 等离子体辐射 自由电子激光 等多种产生机制的模拟分析。 通过AI智能算法优化 实验参数, 助您快速获得 35.5nm波段的高亮度相干光源方案。
35.5nm 属于极紫外(EUV)波段,对光学元件和真空环境要求极高,需严格控制带宽以保证相干性。
不同机制(HHG、FEL)转换效率差异显著,需根据泵浦源功率和介质特性进行最优匹配。
适用于光刻技术、显微光谱学、等离子体诊断及阿秒科学研究。
工具会根据输入的物理参数自动计算相位匹配条件,输出最佳实验建议。